GaAlAs/GaAs量子阱行波Mach-Zehnder光调制器电极传输线的微波响应

• 作者: 周剑英 周小平 李锡华 王明华 赵旭 陈克坚
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 调制器 马赫-曾德尔 多量子阱
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1206-1210
• 页数: 5页
• 分类号: TN36
• 字数: 3053字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.11.017

摘要

研制了利用直线法设计的基于GaAs衬底上的Mach-Zehnder行波光调制器.波导层使用了场诱折射率改变量较大的非对称多量子阱结构,采用脊型波导,并湿法刻蚀出台面以消除波导区以外的载流子引起的损耗.调制器电极微波特性测试结果表明频率响应在2.5～20GHz没有明显的起伏,但在低频段响应下降很快,另外微波损耗较大,讨论了其原因和改进方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李锡华	浙江大学信息与电子工程学系	42	180	8.0	10.0
2	王明华	浙江大学信息与电子工程学系	134	958	17.0	24.0
3	赵旭	浙江大学信息与电子工程学系	23	513	7.0	22.0
4	陈克坚	浙江大学信息与电子工程学系	7	36	4.0	6.0
5	周小平	浙江大学信息与电子工程学系	4	9	1.0	3.0
6	周剑英	浙江大学信息与电子工程学系	6	33	2.0	5.0