划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度

• 作者: 冯爱新 张永康 范真 谢华琨
• 来源期刊: 江苏大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜涂层 结合强度 划痕试验法
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 4591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2003.02.004

摘要

薄膜-基体界面结合性能是直接关系到膜-基体系最终使用性能和可靠性的关键因素和首要指标.划痕试验法是唯一广泛应用于测量硬质薄膜-基体界面结合强度的实用的检验方法.文中给出划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程,以及临界载荷Lc的确定方法,分析影响临界载荷Lc和压头与薄膜-基体组合体之间摩擦系数μ因素.最后,介绍了常用划痕试验检测的薄膜体系及其特点与划痕形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永康	江苏大学机械工程学院	219	3356	29.0	43.0
2	冯爱新	江苏大学机械工程学院	68	754	14.0	25.0
3	范真	江苏大学机械工程学院	61	532	11.0	20.0
4	谢华琨		1	149	1.0	1.0