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硬质薄膜材料的最新发展及应用
硬质薄膜材料的最新发展及应用
作者:
吴大维
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
薄膜材料
超硬多层膜
超晶格薄膜
纳米晶复合膜
摘要:
综述了硬质薄膜材料的最新研究状况.硬质薄膜的设计向着多元化、多层膜的方向发展.本征超硬薄膜材料,如:金刚石、C-BN、B4C、TiB2、BC4N等的硬度可以达到50~80 GPa.纳米超晶格薄膜和纳米晶复合膜两类新的超硬薄膜的硬度分别随超晶格的调制周期减小,纳米晶晶粒尺寸减小而增加,它们的硬度都能达到40~70 GPa.最高硬度的薄膜材料nc-TiN/a-Si3N4采用PCVD方法制备,加载30 mN测得塑性硬度(Plastic hardness)H=110 GPa;加载70 mN,H=80 GPa.本综述对硬质薄膜的应用前景做了展望.
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文献信息
篇名
硬质薄膜材料的最新发展及应用
来源期刊
真空
学科
工学
关键词
薄膜材料
超硬多层膜
超晶格薄膜
纳米晶复合膜
年,卷(期)
2003,(6)
所属期刊栏目
综述
研究方向
页码范围
1-5
页数
5页
分类号
TB43|O484
字数
4571字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1002-0322.2003.06.001
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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1
吴大维
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234
6.0
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传播情况
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研究主题发展历程
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超晶格薄膜
纳米晶复合膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
开本:
大16开
出版地:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号:
8-30
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
总被引数(次)
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