采用溶胶-凝胶法制备nc-Si/SiO2薄膜

• 作者: 宁永强 李剑 王立军 王蓟 邢华
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 硅基光电子集成 溶胶-凝胶方法 能谱图
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 297-300
• 页数: 4页
• 分类号: O482.31
• 字数: 2665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2003.03.017

摘要

溶胶-凝胶方法是近年发展起来的一种新型的材料制备技术,被广泛的应用于薄膜、均匀超细粉末和陶瓷涂层的制备中.本文以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,在乙醇共溶剂和盐酸催化剂条件下,采用溶胶-凝胶方法制备含有纳米晶硅(nc-Si)的SiO2胶体溶液,通过旋涂法使溶剂迅速挥发而迅速凝胶化,经过适当温度的干燥和烧结制备了nc-Si/SiO2薄膜.探讨了胶体粘度、盐酸催化剂浓度、旋涂速度和时间对成膜质量的影响.给出了nc-Si/SiO2薄膜的扫描电镜图像和表征nc-Si/SiO2薄膜组分的能谱图.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王蓟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室	6	22	4.0	4.0
2	王立军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室	131	1339	19.0	31.0
3	李剑	吉林大学电子科学与工程学院	23	126	6.0	10.0
4	邢华	吉林大学电子科学与工程学院	29	128	7.0	10.0
5	宁永强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室	49	191	9.0	13.0