直流磁控溅射BaTiO3系PTCR元件电极及其性能对比的研究

• 作者: 周东祥 赵加强 郝永德 龚树萍
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射 PTCR元件 电极 电学性能
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 665-667,670
• 页数: 4页
• 分类号: TN373
• 字数: 4026字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.06.021

摘要

目前在钛酸钡系PTC热敏电阻器的生产过程中,广泛采用烧渗铝、化学镀镍等电极制备方法,但所制备的电极湿热老化及附着力不尽人意.本文采用直流磁控溅射法制备了的PTCR元件的底电极,实现了镍与PTCR瓷片间的欧姆接触,并发现利用溅射法工艺制备了Ni电极的元件电极附着力(垂直拉力＞3kg,剪切拉力＞0.5kg)及耐湿热老化性能均得到提高,而且溅射工艺的高成本也得到控制,在生产上实现了批量应用(日产量可达3万片).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝永德	华中科技大学电子科学与技术系	20	74	6.0	7.0
2	周东祥	华中科技大学电子科学与技术系	161	1320	16.0	25.0
3	龚树萍	华中科技大学电子科学与技术系	88	698	13.0	18.0
4	赵加强	华中科技大学电子科学与技术系	2	9	2.0	2.0