(Ba0.5Sr0.5)TiO3铁电薄膜的制备工艺及电学性质研究

• 作者: 张荣君 徐纪平 赵敏 顾豪爽
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 BST薄膜 介电性能 漏电流密度
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 71-74
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 3385字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.01.016

摘要

采用溶胶-凝胶方法制备出纯立方钙钛矿相、介电性能和漏电流特性良好的(Ba0.5Sr0.5)TiO3铁电薄膜. 研究发现,随着烧结温度的升高,(Ba0.5Sr0.5)TiO3薄膜纯度和结晶度增高,介电常数提高,漏电流密度降低. 在750℃进行保温1h热处理的薄膜性能较好且稳定:在室温下测得薄膜介电常数为250,介电损耗为0.030,漏电流密度为6.9×10-8A/cm2. 较高的介电常数、较低的漏电流密度可能源于良好的纯度和结晶度. 进一步研究表明,薄膜导电遵从空间电荷限制电流机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张荣君	复旦大学光科学与工程系	31	149	8.0	11.0
2	赵敏	同济大学应用物理系	34	202	8.0	12.0
3	顾豪爽	湖北大学压电陶瓷研究所	86	386	10.0	14.0
4	徐纪平	同济大学应用物理系	17	31	3.0	5.0