脉冲激光沉积技术及其应用

• 作者: 包全合 姚书山 陈传忠 雷廷权
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 薄膜 应用 研究现状
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 综述、评述
• 页码范围: 443-446
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 4862字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2003.05.003

摘要

薄膜材料已在微电子元件、超导材料、生物材料等方面得到广泛应用,为了得到高质量的薄膜材料,脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注.介绍了脉冲激光沉积技术的原理、特点,综述了其在制备半导体、高温超导、类金刚石、铁电、生物陶瓷薄膜等方面的应用和研究现状,展望了该项技术的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈传忠	山东大学材料科学与工程学院	31	731	13.0	27.0
2	雷廷权	山东大学材料科学与工程学院	117	2690	31.0	46.0
6	包全合	山东大学材料科学与工程学院	5	268	4.0	5.0
7	姚书山	山东大学材料科学与工程学院	5	226	3.0	5.0