一种半导体自动化制造系统中的死锁避免

• 作者: 伍乃骐 滕少华
• 来源期刊: 计算机集成制造系统
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 Petri网 死锁避免
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 25-32
• 页数: 8页
• 分类号: TP206+.3
• 字数: 8064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-5911.2003.01.006

摘要

在半导体自动化制造TRACK系统中,由于没有缓冲空间,死锁避免更加困难,保守策略大大降低资源利用率.而路径的柔性为获得更有效的死锁避免策略提供了可能性.本文采用面向资源的着色Petri网建模,基于该模型并利用路径柔性,提出一个系统无死锁的充分条件,并给出相应的控制规律.依据该规律,系统中任务的个数不受限制,并能处理多晶片类型.最后,给出一个说明本方法的应用实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	滕少华	广东工业大学机电工程系	121	825	15.0	20.0
2	伍乃骐	广东工业大学机电工程系	77	815	15.0	25.0