Pb(Zr0.6Ti0.4)O3/LaNiO3铁电电容的制备及其疲劳特性

• 作者: 姜国宝 康晓旭 林殷茵 汤庭鳌 王晓光 钟宇 黄维宁
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: LNO 氧化物电极 抗疲劳特性 频率 脉宽
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 617-621
• 页数: 5页
• 分类号: TN386
• 字数: 3471字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.06.011

摘要

以LaNiO3(LNO)为独立下电极,制备出Au(Cr)/PZT/LNO/SiO2结构的铁电电容,与使用Pt下电极对比,其抗疲劳特性得到了极大的改善.在1MHz频率10V电压下,经过1011次脉冲反转,其(P-P^)仅下降了11%左右,这主要是由于使用氧化物电极可以极大地降低PZT与电极界面处的氧空位的形成和积聚.通过不同频率和相同频率不同脉冲宽度条件下疲劳特性的测试,观察到随着测试频率的升高,抗疲劳特性也随之提高;在相同频率下,随着测试脉宽的加大,疲劳现象加剧;同时,结合缺陷对载流子的俘获和带电氧空位的迁移理论很好地解释了上述现象.