相移干涉显微术测量表面微观形貌

• 作者: 徐毓娴 惠梅 李庆祥 牛憨笨 王东生
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微分干涉相衬 相移干涉显微术 纳米表面微观形貌
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 2-4,7
• 页数: 4页
• 分类号: TG84|O436.1|TH741.8
• 字数: 1860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2003.01.001

摘要

在微分干涉相衬显微镜中加入偏振相移装置,实现了对干涉光强的调制,达到了相移的目的,构造了具有纳米级分辨率的相移干涉显微测量系统.编制了一套测试软件及多组数据处理软件,将测量系统的各组成部分用软件进行了连接.分析并解决了测量过程中的技术难题,对纳米表面微观形貌进行了高精度实时自动测量.该测量系统能够准确地重构出纳米表面微观形貌,并给出了定量测量数据.