微型机械技术和应用前景

• 作者: 李迎 潘洋宇 王拴虎
• 来源期刊: 兵工自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机械 加工技术 应用前景
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TH16
• 字数: 3775字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1576.2003.05.005

摘要

微型机械具有体形超小,受热胀、噪声和挠曲等影响甚微,高速工作稳定,能耗低,惯性小,谐振频率高,响应时间短,无延迟,节约材料、成本低等特点,可用蚀刻工艺制作,适宜大批量生产.已列入国家863计划并发展到微米级.以单晶硅侵蚀技术为基础的硅整体微机械加工,和以多晶硅剥落技术的表面微机械加工,是典型的微型机械技术.克服离心力、微细噪声等是应注重解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李迎		48	490	12.0	20.0
2	王拴虎		12	213	7.0	12.0
3	潘洋宇		5	80	3.0	5.0