钛酸锶钡(BST)薄膜的制备与应用研究进展

• 作者: 李文远 杨传仁 符春林 胡文成 陈宏伟
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡 铁电薄膜 制备技术
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 新技术
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TN304|O485
• 字数: 3809字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2003.05.014

摘要

介绍了钛酸锶钡(BST)薄膜的四种制备方法(脉冲激光沉积、磁控溅射、溶胶–凝胶、金属有机化学气相沉积)及BST薄膜在介质移相器、动态随机存储器、热释电红外探测器、H2探测器中的应用等方面的研究进展.提出了需进一步开展的研究课题如:晶粒晶界控制、界面控制、漏电导机制、疲劳机制、非线性效应及大面积高质量薄膜的制备技术等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡文成	电子科技大学微电子与固体电子学院	27	235	9.0	14.0
2	杨传仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	525	11.0	18.0
3	陈宏伟	电子科技大学微电子与固体电子学院	51	360	10.0	15.0
4	李文远	电子科技大学微电子与固体电子学院	11	88	3.0	9.0
5	符春林	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	239	10.0	15.0