947型氦质谱检漏仪故障分析

• 作者: 徐屹峰 武西弟
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 947型 氦 质谱检漏仪 故障排除 工作原理
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TH843

摘要

扼要介绍947型氦质谱检漏仪的工作原理、故障原因及排除。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐屹峰		4	0	0.0	0.0
2	武西弟		4	0	0.0	0.0