用纳米压入法测量硼化铪涂层的弹性模量

• 作者: 王海容 胡勇 蒋庄德 赵则祥
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 纳米压入 硼化铪涂层 弹性模量 基底
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 587-590
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2003.05.027

摘要

用Nano Indenter Ⅱ对硼化铪/石英和硼化铪/硅等膜/基结构进行纳米压入测量.通过对测得的载荷-位移曲线进行处理,得到硼化铪涂层的弹性模量为188.78GPa.实验表明,较软基底对测量结果的影响较大,所得的评定值失真,用KING提出的评定模型也未获得较好的结果.因此,最大压入深度应在保证压头尖钝化和薄膜表面质量对测量结果影响不太大的情况下尽量减少最大压入深度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	王海容	西安交通大学精密工程研究所	29	262	10.0	15.0
3	赵则祥	西安交通大学精密工程研究所	75	337	10.0	15.0
5	胡勇		28	60	4.0	7.0