磁控溅射制作金红石--TiO2

• 作者: 于先进 董志华 薛成山 郭兴龙 高海永
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 纳米粒子 TiO2
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 20-21,42
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.92|TF823
• 字数: 1282字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.12.004

摘要

用磁控溅射方法制备了粒径大小为20 nm的金红石--TiO2,用X射线(XRD)和扫描电镜(SEM)观察表面形貌,局部表观致密,颗粒大小均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于先进	山东理工大学化学工程学院	77	691	15.0	21.0
2	薛成山	山东师范大学半导体研究所	117	476	11.0	13.0
3	高海永	山东师范大学半导体研究所	13	37	4.0	5.0
4	董志华	山东师范大学半导体研究所	11	32	4.0	4.0
5	郭兴龙	山东师范大学半导体研究所	4	11	2.0	3.0