固体源化学气相沉积生长c轴平行于衬底的ZnO薄膜

• 作者: 叶志镇 吕建国 张银珠 赵炳辉 黄靖云
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 固体源化学气相沉积 混合取向 c轴平行于衬底
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 1636字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.01.001

摘要

报道了利用固体源化学气相沉积(SS-CVD)技术制备出c轴平行于衬底的ZnO薄膜.固体Zn(CH3COO)2*2H2O为前驱体,在不同的生长条件沉积ZnO薄膜,并利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、光学透射谱对其性能进行研究.结果表明,在玻璃衬底上,当衬底温度较低(200℃)、源温较高(280℃)时,ZnO薄膜呈(100)与(110)的混合取向,即c轴平行于衬底.对此,文中给出了一个可能的定性解释.AFM测试表明薄膜表面平整度不够理想,该薄膜在可见光区域透射率为85%,光学带宽约为3.25eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
2	张银珠	浙江大学硅材料国家重点实验室	21	434	9.0	20.0
3	赵炳辉	浙江大学硅材料国家重点实验室	74	719	14.0	24.0
4	黄靖云	浙江大学硅材料国家重点实验室	51	610	12.0	23.0
5	吕建国	浙江大学硅材料国家重点实验室	35	769	12.0	27.0