微机电系统(MEMS)纳米摩擦学研究进展

• 作者: 王庆良 葛世荣
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 物理学
• 关键词: 微型机电系统 纳米摩擦学 固体薄膜 超薄膜润滑
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 技术讲座
• 页码范围: 88-91,94
• 页数: 5页
• 分类号: O313
• 字数: 5422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2003.03.036

摘要

随着微型机电系统(MEMS)的快速发展,MEMS摩擦学已成为当前纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之一.微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能、稳定性和寿命起着决定作用,因此研究MEMS的微观摩擦学性能至关重要.本文对近年国内外MEMS摩擦学研究的新进展作了综述,介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性,讨论了包括环境条件、材料处理、表面改性、分子超薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况,提出了当前相关研究的几个重要问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛世荣	中国矿业大学机电工程学院	216	3667	33.0	51.0
2	王庆良	中国矿业大学机电工程学院	54	496	14.0	19.0