直流磁控溅射氮化铁薄膜生长的动力学标度

• 作者: 于陕升 徐娓 杨开宇 王欣 郑伟涛 郭巍 高丽娟
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化铁薄膜 动力学标度 直流磁控溅射
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 431-434
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2602字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2003.04.023

摘要

利用直流磁控溅射方法,以Ar/N2作为放电气体,通过改变放电气体中N2的流量 (N2流量比分别为5%,10%,30%,50%)及溅射时间(160,30,20,10,5min),在玻璃衬底上沉积了FexN薄膜.用X射线光电子能谱(XPS)方法确定了不同N2流量下薄膜的成分;X射线衍射(XRD)方法分析了不同N2流量下的FexN薄膜结构,当N2流量比为5%时获得了FeN0.056相,10%时为ε-Fe3N相,30%和50%流量比下均得到FeN相.利用原子力显微镜(AFM)和掠入射X射线散射(GIXA)方法研究了膜表面的粗糙度和形貌,发现随着N2流量的增加,薄膜表面光滑度增加,薄膜表面呈现自仿射性质.动力学标度方法定量分析表明:薄膜表面因不同N2流量的影响而具有不同的动力学指数,当氮气流量比为5%时,静态标度指数α≈0.65,生长指数β≈0.53±0.02,薄膜生长符合基于Kolmogorov提出的能量波动概念的KPZ模型指数规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑伟涛	吉林大学材料科学与工程学院	48	245	8.0	13.0
2	徐娓	吉林大学化学系	11	44	3.0	6.0
3	王欣	吉林大学材料科学与工程学院	171	884	14.0	22.0
4	杨开宇	吉林大学电子科学与工程学院	20	110	6.0	9.0
5	于陕升	吉林大学材料科学与工程学院	7	47	4.0	6.0
6	郭巍	吉林大学化学系	56	927	14.0	29.0
7	高丽娟	吉林大学材料科学与工程学院	7	30	4.0	5.0