电子工业用高纯氮的生产

• 作者: 江楚标 薛鲁
• 来源期刊: 深冷技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子工业用高纯氮 一氧化碳 氢 清除 氮终端净化器 转换炉 技术经济分析
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 设计制造
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TQ116.15
• 字数: 4013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.978-7-807.2003.05.004

摘要

生产电子工业用高纯氮的制氮装置,其要点和难点是一氧化碳和氢的清除.采用一氧化碳转换炉和特殊的冷箱内流程组织,可以生产纯度为99.9999%以上的高纯氮.对制取电子工业用高纯氮制氮装置与常规制氮装置加氮终端净化器两种流程进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江楚标		1	3	1.0	1.0
2	薛鲁		2	6	2.0	2.0