表面微构造的硅材料--一种新型的光电功能材料

• 作者: 苏卫锋 赵利 赵明
• 来源期刊: 物理
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 微构造 "黑硅"
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: 前沿进展
• 页码范围: 455-457
• 页数: 3页
• 分类号: TB34
• 字数: 1379字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2003.07.007

摘要

在SF6气体氛围内用飞秒激光照射硅表面,可在硅表面产生准规则排列的微米量级尖峰结构,形成"黑硅"新材料.初步研究表明,这种 "黑硅"新材料对波长为250-2500nm的光波有大于90%的吸收,同时它还具有相当好的场致发射特性.由于具有这些奇特的光电性质,这种表面微构造的硅材料在光电探测器、太阳能电池、平板显示器等器件制造领域有着重要的潜在应用价值.