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利用图像处理技术评价硅片表面清洗率
激光清洗
硅片
清洗率
图像处理
光伏企业硅片清洗废水处理工程实例
光伏企业
硅片清洗废水
上流式厌氧污泥床反应器
A/O处理系统
金刚石膜电化学清洗硅片表面有机沾污的研究
有机沾污
硅片表面清洗
掺硼金刚石膜电极
强氧化剂
微粗糙度
电化学清洗
我国工业清洗中化学清洗技术的发展
化学清洗
工业清洗
清洗剂
清洗技术
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硅片的化学清洗技术
来源期刊 洗净技术 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2003,(4) 所属期刊栏目 技术交流
研究方向 页码范围 27-31
页数 5页 分类号 TN3
字数 6060字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张厥宗 1 16 1.0 1.0
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相关学者/机构
期刊影响力
洗净技术
月刊
1672-2248
11-5015/TN
大16开
北京市
82-629
2003
chi
出版文献量(篇)
383
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1
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1667
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