SIMOX材料薄膜厚度的测量和分析

• 作者: 卢殿通 李艳
• 来源期刊: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 化学
• 关键词: SIMOX材料 红外吸收光谱 厚度测量和分析
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4|O657.31
• 字数: 2753字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2003.01.009

摘要

讨论了由国产LC-14型强流氧离子注入机制备的SIMOX(separation by implanted oxygen)材料薄膜厚度的测量和分析.采用红外吸收光谱测量SIMOX绝缘埋层的厚度,这是一种快速非破坏性测量方法.根据离子注入原理估算表面硅层的厚度,并分析了影响估算精度的各种因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳	北京师范大学低能核物理研究所	47	236	9.0	14.0
2	卢殿通	北京师范大学低能核物理研究所	7	15	2.0	3.0