电磁型平面微电机及其制作工艺

• 作者: 吴一辉 宣明 王淑荣 郭占社
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 平面微电机 LIGA工艺
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 120-124
• 页数: 5页
• 分类号: TM359.9
• 字数: 1378字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.02.003

摘要

为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法.定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和硅微机械加工工艺;转子采用钕铁硼永磁材料,进行轴向充磁,成辐射状间隔分布.装配时转子分布于定子两侧,不但减小了电机尺寸,还有利于定子的散热.把装配完毕的微电机接通三相半控控制电路对其转速和力矩进行了测试,测试结果表明,电机运转平稳,输出力矩大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宣明	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	42	470	13.0	20.0
2	王淑荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	105	757	15.0	23.0
3	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	126	1121	18.0	27.0
4	郭占社	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	3	33	2.0	3.0