有源矩阵液晶显示器的薄膜晶体管技术

• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 有源矩阵 A-SI 液晶显示器 多晶硅TFT 迁移率 薄膜晶体管(TFT) H
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 10-14
• 页数: 5页
• 分类号: TN141.9
• 语种: 中文

摘要

全文描述了应用于有源矩阵液晶显示器领域的各种薄膜晶体管技术,本期主要介绍多晶硅薄膜晶体管技术,给出了其主要类型、工作原理及性能,以及生产制作中的关键性技术.