曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计

• 作者: 宋朝晖 张鲲 李昕欣 王跃林 董健
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 曲面过载保护 冲击 硅微机械加速度传感器 压膜阻尼
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 148-150,214
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2003.02.008

摘要

给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型,此传感器为整体式悬臂梁结构,采用硅微机械加工技术制作,便于封装和大批量低成本制造.其敏感方向在硅片平面内,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端,两个完全相同的悬臂梁沿相反方向分布,四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接;悬臂梁的过载保护采用上下两个曲面,一方面有效地提高悬臂梁的过载保护能力,另一方面调节加速度传感器的压膜阻尼,使之接近临界阻尼,有效抑制自由振动模态,提高测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	52	280	11.0	13.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	董健	浙江大学信息与电子工程系	16	142	6.0	11.0
5	张鲲	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	17	107	5.0	10.0