涂陶型吸气热子残气特性及其质谱分析

• 作者: 尉秀英 王志刚 秦光荣 苑鹏 蒋利军
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 吸气热子 质谱 残余气体
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 26-28
• 页数: 3页
• 分类号: TN107
• 字数: 1966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2003.03.007

摘要

采用美国"英福康"公司生产的QUADREX-100四极质谱仪对一种全新的涂陶型高牢固吸气热子在真空系统中不同状态下的残余气体分析,并与涂Al2O3型吸气热子进行了同种条件对比测试,证明了涂陶型高牢固吸气热子的可实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋利军		90	513	12.0	17.0
2	尉秀英		22	160	8.0	11.0
3	秦光荣		14	92	7.0	9.0
4	王志刚		5	17	3.0	4.0
5	苑鹏		10	34	3.0	5.0