电化学沉积DLC薄膜的摩擦学性能研究

• 作者: 徐洮 杨生荣 薛群基 阎兴斌
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学沉积 类金刚石碳膜 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 169-173
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.44|O484
• 字数: 2839字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2003.03.001

摘要

采用直流电源,以有机溶剂作为碳源,通过电化学沉积方法在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜.用原子力显微镜、拉曼光谱仪和傅立叶红外光谱仪等表征了薄膜的结构,用DF-PM型动-静摩擦系数精密测定仪考察了薄膜的摩擦学性能.结果表明:电化学沉积含氢类金刚石碳薄膜的硬度较高(约14 GPa),薄膜均匀、致密,表面粗糙度小;在室温干摩擦条件下,薄膜同GCr15钢以及α-Al2O3和Si3N4陶瓷对摩时的摩擦系数随载荷增加而略微减小;陶瓷材料/类金刚石碳膜的摩擦系数较低,钢/类金刚石碳膜的摩擦系数较高;类金刚石碳薄膜同Si3N4陶瓷对摩时呈现断裂剥落特征;同GCr15钢对摩时发生转移并形成转移膜,耐磨寿命缩短.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛群基	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	219	3991	32.0	53.0
2	杨生荣	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	104	1439	18.0	34.0
3	徐洮	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	75	815	16.0	23.0
4	阎兴斌	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	19	104	6.0	10.0