调整磁场强度分布提高靶材利用率

• 作者: 王凤杰 郭明
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 磁场强度 靶材 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 建筑、装饰玻璃
• 页码范围: 40-42,45
• 页数: 4页
• 分类号: TQ17
• 字数: 3656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2003.03.012

摘要

介绍了磁场强度在磁控溅射工艺中的作用,根据美国Airco公司镀膜生产线的实践经验,详细论述了如何通过调整靶材磁场强度,提高靶材的利用率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭明		16	11	2.0	3.0
2	王凤杰		3	0	0.0	0.0