双光源投影法细丝直径测量

• 作者: 赵斌 颜伟彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 在线直径测量 投影 半导体激光 点光源
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 171-175
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 2749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.02.013

摘要

提出一种细丝直径在线测量方法,利用半导体激光作为点光源,发出球面波;通过细丝后在其后菲涅耳衍射区留下阴影,测量阴影宽度可得细丝直径;同时,利用两个相距一定距离的点光源对同一细丝投影,测量两个投影之间的距离可得细丝位置的晃动量,从而校正直径测量值.