声表面波加速度计静电式力反馈闭环方案研究

• 作者: 赵博辉 郭琳 陈明
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波加速度计 静电式力反馈 静电力发生器 二元脉冲调宽静电力闭环方案
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TH82
• 字数: 3611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2003.09.002

摘要

随着微机械结构工艺的改进,声表面波静电力闭环方案必会以其不可替代的优势成为一个发展方向.本文阐述了静电力发生器的结构,提出并研究了用脉宽调制反馈力线性化静电力发生器的方法.结合声表面波器件的实际加工技术,对声表面波加速度计静电式力反馈方案进行了详细分析,并通过仿真给出了该方案中系统参数的范围以及最优参数下的系统特性曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明	西北工业大学自动控制系	184	2365	24.0	38.0
2	郭琳	西北工业大学自动控制系	4	32	3.0	4.0
3	赵博辉	西北工业大学自动控制系	2	5	1.0	2.0