基于相移电子莫尔条纹的深度非球面检测

• 作者: 张学军 张峰 张忠玉 程仕东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 条纹分析 莫尔条纹 补偿检验
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 250-255
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 字数: 895字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.03.007

摘要

通过相移技术检测深度非球面波前时,CCD相机和计算机分辨率受到Nyguist频率的限制.基于相互平行相移莫尔条纹干涉技术,我们提出一种新颖有效的检测技术.相互平行的相移电子莫尔条纹是由计算机产生三幅光栅作为参考波前,分别和输入被检干涉图相叠加,并通过低通滤波器滤波滤掉高频而得到的.最后,由三步相移算法,我们得出非球面的面形分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰	吉林大学原子分子研究所	28	468	8.0	21.0
2	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	124	1634	25.0	33.0
3	张忠玉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	23	386	11.0	19.0
4	程仕东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	33	3.0	4.0