光学工程分析中的镜面面形处理新方法

• 作者: 吴清文 李贤辉 杨洪波
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: Zemike多项式 调整 面形误差 下山法
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与设计
• 页码范围: 752-753,756
• 页数: 3页
• 分类号: TB133|TH706
• 字数: 1964字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2003.06.018

摘要

光学系统在载荷的作用下会发生变形.基于干涉检验理论,提出了一种先调整后再拟合的处理方法.首先利用下山法计算光学镜面在法线方向的变形;然后利用Zemike多项式拟合变形曲面得到Zemike系数;最后去除刚体位移,作等高线图.新的数据处理方法可以更好的与干涉检验保持一致.对某相机的主镜进行仿真试验,结果表明,下山法计算效率较高,先调整后再拟合的处理结果与干涉检验结果的一致性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴清文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	115	1040	18.0	24.0
2	李贤辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	27	1.0	1.0
3	杨洪波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	73	850	16.0	26.0