集成式微操作器的研制

• 作者: 孙立宁 曲东升 楼超飞 祝宇虹 荣伟彬
• 来源期刊: 机器人
• 关键词: 微操作机器人 微操作器 压电陶瓷管 建模 微位移检测
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 226-230
• 页数: 5页
• 分类号: TP24
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0446.2003.03.009

摘要

微操作器是微操作机器人的关键部件,本文基于压电扫描器的工作原理,研制出压电陶瓷管驱动的三自由度微操作器,通过对四分压电陶瓷管的变形进行静力学分析,建立了微操作器微位移量与驱动电压的关系模型.研制出微位移检测电路,实现了微操作器机构、驱动、检测的集成化,设计了微位移闭环控制实验系统,对微操作器进行了静态、动态测试,得到了微操作器的主要性能指标.实验表明,所研制的微操作器能够满足微纳米定位精度的微操作需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人研究所	98	1491	23.0	33.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
3	祝宇虹	哈尔滨工业大学机器人研究所	27	345	11.0	18.0
4	曲东升	哈尔滨工业大学机器人研究所	47	1041	20.0	31.0
5	楼超飞	哈尔滨工业大学机器人研究所	1	13	1.0	1.0