超高精度定位系统及线性补偿研究

• 作者: 丁玉成 严乐 刘红忠 卢秉恒 李寒松
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 超高精度 宏定位台 精定位台 双伺服控制
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 277-281
• 页数: 5页
• 分类号: TH112|TH113.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2003.03.015

摘要

依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计,应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算,确定了系统的自然频率,并由此设计出双伺服环的控制系统.控制系统由2根循环滚珠丝杠构成宏定位,3个压电驱动器构成微定位.在系统软件中,采用Chebyshev数字滤波器进行去噪,使整个定位系统控制在200 mm的行程中,其定位精度达到了8 nm.对于由压电驱动器(PZT)的迟滞和非线性特性而产生的系统重复运动误差,系统采用EMM(Exact Model Matching)控制策略,最终实现正向和反向运行的误差量比补偿前降低5倍以上,使得正反向运动几乎落在同一曲线内,实现了对压印光刻工艺集成电路制造中的高精度定位要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学机械工程学院	387	5973	36.0	56.0
2	丁玉成	西安交通大学机械工程学院	128	1941	23.0	39.0
3	李寒松	西安交通大学机械工程学院	11	104	6.0	10.0
4	刘红忠	西安交通大学机械工程学院	46	349	10.0	16.0
5	严乐	西安交通大学机械工程学院	6	74	4.0	6.0