高频声表面波材料及器件制备工艺的研究

• 作者: 李冬梅 李晖 潘峰 陈菁菁
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 铝薄膜 声表面波材料 LiNbO3 谐振耦合换能器
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 工艺
• 页码范围: 40-42,36
• 页数: 4页
• 分类号: TN65
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2003.08.012

摘要

研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响.采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器.结果表明,电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有较好的结合力,具有适合SAWF器件制备所需的微观结构,在随后的叉指换能器制备过程中表现出良好的加工性能和声传播特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李冬梅	清华大学材料系先进材料教育部重点实验室	81	611	13.0	21.0
2	潘峰	清华大学材料系先进材料教育部重点实验室	30	196	6.0	13.0
3	陈菁菁	清华大学材料系先进材料教育部重点实验室	3	5	1.0	2.0
4	李晖	清华大学材料系先进材料教育部重点实验室	14	283	6.0	14.0