微机械构件的表面去粘着技术

• 作者: 吕苗 张西慧 苗勇
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械构件 毛细吸引力 粘着能
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 24-27,38
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 4094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.12.006

摘要

由于尺寸的减小和需要产生弹性形变,微机械构件的表面力(表面张力、粘着力)成为影响系统性能的关键因素.本文介绍了造成微构件表面粘着的因素,从材料、工艺和设计等方面综述了减弱或去除微机械构件表面粘着力的七种技术,并对相关工作进行了总结和展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕苗	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	34	4.0	5.0
2	张西慧		18	146	6.0	12.0
6	苗勇		1	10	1.0	1.0