射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和光学特性

• 作者: 张源涛 李万程 杜国同 杨晓天 殷宗友 王金忠 马艳
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 RF磁控溅射 光荧光谱
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 73-75
• 页数: 3页
• 分类号: O482.31
• 字数: 1380字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2003.01.013

摘要

采用射频(RF)反应磁控溅射法在n-Si(001)衬底上外延生长ZnO薄膜.XRD谱测量显示出较强的(002)衍射峰,表明ZnO薄膜为c轴择优取向生长的.室温PL谱测量观察到了较强的紫外光发射和深能级发射.