集成硅热流量传感器

• 作者: 朱昊 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 流量传感器 MEMS CMOS兼容
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 5-8,12
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 4401字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2003.04.002

摘要

将传感器与电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小等优点,因而收到了广泛的重视.本文介绍了硅热流量传感器的基本原理及发展状况,并针对电路和传感器集成的过程中出现的问题进行了探讨,对该类传感器的设计有一定的参考价值.