微小孔径激光器的研制与近场测试

• 作者: 叶晓军 孙永伟 宋国峰 康香宁 陈良惠
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 近场光存储 微小孔径激光器 聚焦离子束 近场分布
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 激光器
• 页码范围: 682-684
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.5|TP333.4
• 字数: 2464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2003.06.037

摘要

介绍了一种用于高密度近场存储领域的新型微小孔径激光器(VSAL).为了解决由腔面金属膜造成的激光器PN结短路的问题,在激光器中引入了窗口隔离区,不仅降低了器件制备的难度,而且也提高了器件的性能和成品率.采用聚焦离子束刻蚀技术成功地制备了输出功率为0.3mW的激光器,利用矩阵方法通过远场测量值估算了激光器的近场分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙永伟	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	12	56	3.0	7.0
2	陈良惠	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	59	338	11.0	15.0
3	宋国峰	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	22	88	6.0	8.0
4	康香宁	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	4	21	2.0	4.0
5	叶晓军	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	11	50	4.0	7.0