分子束外延生长ZnO薄膜及性能研究

• 作者: 俞根才 史向华 周映雪 张新夷 谢亚宁 阎文胜 韦世强
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 分子束外延 ZnO 扩展的X射线吸收精细结构 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 新一代同步辐射技术及应用
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: O433.51
• 字数: 1355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2003.01.002

摘要

用分子束外延(MBE)和氧气氛方法,并改变束源炉和衬底生长温度,在Si(100)衬底上,采用Zn作缓冲层以解决ZnO层与衬底间的晶格失配问题,生长得到ZnO薄膜.在ZnO/Zn/Si(100)薄膜样品的X射线衍射(XRD)谱中,观测到ZnO的(100)、(002)、(101)、(102)和(103)等衍射峰;用原子力显微镜(AFM)观测ZnO薄膜的表面形貌,为直径约80-90nm的量子点,表明已得到具有纳米结构的ZnO薄膜.用同步辐射EXAFS技术研究了ZnO薄膜的局域结构,得到有关的几个结构参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韦世强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	51	239	7.0	14.0
2	史向华	长沙电力学院物理系	25	84	5.0	8.0
3	张新夷	复旦大学同步辐射研究中心	22	103	6.0	8.0
4	谢亚宁	中国科学院高能物理研究所同步辐射室	76	532	13.0	19.0
5	阎文胜	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	3	6	1.0	2.0