水辅助激光加工技术的实验研究

• 作者: 朱波 王扬 齐立涛
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光 不锈钢 Al2O3陶瓷 单晶硅 水辅助加工
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 工艺与工艺装备
• 页码范围: 73-74
• 页数: 2页
• 分类号: TG485
• 字数: 1163字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2003.12.029

摘要

介绍水辅助激光打孔和切割实验研究.研究表明,用毫秒级YAG脉冲激光对不锈钢和Al2O3陶瓷加工时,熔屑易从加工区排出,有助于提高加工的表面质量;加工单晶硅时,加工表面易产生微裂纹,使加工质量变差.激光通过水层时,有能量损失,水层深度越深,能量损失越大.