双声路声表面波质量传感器的研究

• 作者: 朱大中 陈继凯 黄浙隆
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 质量沉积效应 双声路 传感器
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 声表面波技术
• 页码范围: 91-93
• 页数: 3页
• 分类号: TN722
• 字数: 2380字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2003.02.002

摘要

在 LiNbO3晶片上设计并实现了一种新型的双声路延迟线型声表面波质量传感器.利用光刻工艺在每个声传播路径上构造了一个方形质量沉积区,当有物质沉积到该区时,由于质量沉积效应,声表面波的波速发生变化,使以延迟线作为反馈回路的振荡器的振荡频率发生变化,并通过这一变化反映出沉积物的质量.为了补偿温度对器件传输频谱的影响, 该器件采用双声路结构,一路为传感声路,一路为参考声路.介绍了器件的设计、工艺流程和测试方法,最后对测试结果进行了分析和讨论.测试结果表明该传感器的温度系数为7 Hz/℃,灵敏度为4.9×10-6 cm2/g.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱大中	浙江大学信电系微电子技术与系统设计研究所	43	188	8.0	11.0
2	陈继凯	浙江大学信电系微电子技术与系统设计研究所	1	5	1.0	1.0
3	黄浙隆	浙江大学信电系微电子技术与系统设计研究所	1	5	1.0	1.0