反应溅射TiC薄膜的微结构及力学性能

• 作者: 李戈扬 梅芳华 董云杉 邵楠
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 物理学
• 关键词: TiC薄膜 反应磁控溅射 微结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 专论
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1942字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2003.03.004

摘要

采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响.结果表明,甲烷分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响:低的甲烷分压下,制备的薄膜样品中有钛相的存在,薄膜的硬度和弹性模量较低;甲烷分压提高0.02～0.04Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,并获得最高的硬度(30.9GPa)和弹性模量(343GPa);进一步提高甲烷分压,薄膜呈现非晶态,其硬度和弹性模量亦随之降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董云杉	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	16	108	6.0	9.0
2	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
3	邵楠	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	12	95	6.0	9.0
4	梅芳华	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	7	73	6.0	7.0