类金刚石碳膜的研究进展

• 作者: 于翔 江功武 王成彪
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 相结构 过滤阴极真空弧(FCVA) sp3和氢含量 发展趋势
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.444|TQ164
• 字数: 4568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2003.11.001

摘要

从类金刚石碳膜作为耐磨薄膜的角度出发,综述了近年来类金刚石碳膜(DLC)结构、沉积技术、沉积机理和性能方面的相关研究进展.介绍了DLC的相结构、过滤阴极真空弧(FCVA)、类金刚石碳膜的沉积机理及主要工艺影响因素,同时指出了存在的问题及研究发展趋势.