Sol-Gel法制备ZnO:Al透明导电薄膜

• 作者: 吕敏峰 崔作林 张志焜
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: Sol-Gel ZnO Al+离子掺杂 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 224-227
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 3327字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2003.02.018

摘要

采用Sol-Gel工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向性、高可见光透过率以及高电导率的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜.利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征.研究结果表明:所制备的薄膜为纤锌矿型结构,表面平整、致密.通过标准四探针法及UVS透射光谱详细研究了Al3+离子掺杂的ZnO薄膜的电学与光学性能.实验发现,当Al3+离子掺杂浓度为0.8%时,前处理温度为400℃,退火温度为550℃,真空退火温度为550℃时,薄膜具有较好的导电性,电阻率为3.03× 10-3Ω@cm,其在可见光区的透过率超过80%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志焜	青岛化工学院纳米材料研究所	9	223	8.0	9.0
2	崔作林	青岛化工学院纳米材料研究所	22	490	12.0	22.0
3	吕敏峰	青岛化工学院纳米材料研究所	2	60	2.0	2.0