管式电炉合成氮化镓晶粒的研究

• 作者: 李秀琴 薛成山 魏琴琴 黄萍
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓 Ga2O3 氨气
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.23
• 字数: 1252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.11.006

摘要

以Ga2O3为Ga源,氨气(NH3)为N源,通过氮化反应合成了高质量的GaN晶粒.用XRD,FTIR和TEM对生成产物的组分、结构进行了研究.结果表明,用管式电炉合成的GaN为多晶体,属六方晶系.