制作任意形状微结构的LCD实时掩模技术

• 作者: 王旭智
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: TN91
• 字数: 2951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1180.2003.06.003

摘要

本文介绍了一种利用液晶显示(LCD)实时掩模制作任意形状微结构的新技术,并且阐述了该技术的原理和设计方法.基于部分相干成像理论,仿真了制造微轴锥体和锯齿形光栅的过程.在实验中使用彩色LCD作为实时掩模,成功地用LCD实时掩模技术制作出微轴锥体和锯齿形光栅.实验中采用胰蛋白酶刻蚀技术将三维外形结构刻蚀在全彩色的感光银盐明胶片上,所得到的锯齿形光栅的节距为46.26μm,刻蚀深度为0.902μm;轴锥体的直径为118.7μm,蚀刻深度为1.332μm.