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摘要:
用热蒸发和自然氧化法制备纳米量级Al/Al2O3多层膜.检测XPS光电子能谱和UPS谱线,得到Ei(k∥I)关系曲线,并发现薄膜具有负阻特性.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 纳米Al/Al2O3多层膜的光电子谱与电性能
来源期刊 半导体学报 学科 物理学
关键词 Al/Al2O3多层膜 电子能谱 电性能
年,卷(期) 2003,(z1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 65-69
页数 5页 分类号 O484.4
字数 2747字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.z1.014
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 薛钰芝 7 78 5.0 7.0
2 Martin A Green 澳大利亚新南威尔士大学光伏工程研究中心 3 27 2.0 3.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
Al/Al2O3多层膜
电子能谱
电性能
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
半导体学报(英文版)
月刊
1674-4926
11-5781/TN
大16开
北京912信箱
2-184
1980
eng
出版文献量(篇)
6983
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8
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