基于有限状态机模型的光刻版图自动布局系统

• 作者: 曹庄琪 粟鹏义 陈开盛
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 有限状态机 光刻版 电子设计自动化 集成电路
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 集成电路制造技术
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TP391.7|TN305.7
• 字数: 2535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2003.10.009

摘要

采用有限状态机模型设计了集成电路光刻版上各个图形布局的自动系统.将布局的各个阶段定义为不同的状态,布局规则定义为触发条件,组成一个有限状态机.基于此模型的计算机自动布局系统能自动完成图形在光刻版上的布局,充分利用硅圆片面积并给出布局报告.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹庄琪		56	224	8.0	11.0
2	粟鹏义		5	4	1.0	2.0
3	陈开盛		5	4	1.0	2.0