带保护环结构的条形X光阵列探测器

• 作者: 张秀荣 杜树成 王传敏 王光甫 田晓娜 盛丽艳 谢凡 韩德俊
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: X光探测器 死区 漏电流 保护环 端面入射
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 198-202
• 页数: 5页
• 分类号: TN312+.4
• 字数: 3053字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.02.018

摘要

研究了带有保护环结构的条形X光阵列探测器,结果表明,保护环的存在不仅降低了表面漏电,而且抑制了耗尽区的侧向扩展.厚度为300μm的探测器样品,切割后的"死区"长度为150μm;环境温度为18℃时,70V偏压下加保护环测得的探测器完全耗尽时的漏电流为20nA.